不同发展时期的在电镜检查时有不同的表现。

　　不典型增生

　　不典型增生表现为底层细胞增生，而且还会出现细胞排列紊乱及细胞核增大、浓染、染色质分布不均等核异质改变。不典型增生又可分为轻、中及重度。

　　①轻度不典型增生（间变I级）：上皮细胞排列稍紊乱，细胞轻度异型性，异型上皮占据上皮层的下三分之一。

　　②中度不典型增生（间变Ⅱ级）：上皮细胞排列紊乱，异型性明显，异型上皮占据上皮层的下三分之二。

　　③重度非典型增生（间变Ⅲ级）：几乎全部上皮极紊乱或极性消失，细胞显着异型性和原位癌已不易区别。

　　原位癌

　　又可称为上皮内癌。上皮全层极性消失，细胞显着异型，核大，深染，染色质分布不均，有核分裂相。但病变仍限于上皮层内，未穿透基底膜，无间质浸润。

　　镜下早期浸润癌

　　镜下早期浸润癌在原位癌基础上，偶然可发现有癌细胞小团已穿破基底膜，似泪滴状侵入基底膜附近的间质中，浸润的深度不超过5mm，宽不超过7mm，也无癌灶互相融合现象，也无侵犯间质内脉管迹象时，临床上无特征。

　　鳞状上皮浸润癌

　　当癌细胞穿透上皮基底膜，侵犯间质深度超过5mm，称为鳞状上皮浸润癌。在间质内可出现树枝状、条索状，弥漫状或团块状癌巢。